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全芯世代半导体层膜项目落户日照经济技术开发区,总投资11亿元

2019-11-20 20:56:37
全芯世代半导体层膜项目落户日照经济技术开发区,总投资11亿元

8月1日,日照经济技术开发区与台湾双志世代国际有限公司签订合作协议,全芯世代半导体层膜项目落户开发区。区工委书记杜江涛,台湾双志世代国际有限公司董事长戴荣志出席活动。区工委委员、管委副主任邱兵与项目负责人签约。项目总投资11亿元,分四期建设,达产后每年度可实现应税销售收入一期不低于7000万元,二期不低于1亿元,三期不低于5.7亿元,四期不低于15亿元。

全芯世代半导体层膜项目由台湾双志世代国际有限公司投资,计划设立半导体装备层膜生产及技术服务专业工厂,进行半导体与光电业零组件层膜中心的维修服务与新备品生产供应,同时孵化引进加拿大氢燃料电池项目和拥有多国专利的分散式光纤控制系统,以及相关产品制造与技术交流、辅导与技术升级。该项目设立后,可成为大陆地区领先的相关配件生产以及维修的综合性工厂,填补大陆地区相关产业的空白,对促进国家半导体产业发展具有积极的作用。

半导体与光电产业制程设备使用一定次数后,需将机台重要零组件作洁净处理,避免附着力变差影响产品良率。另外零组件在重复使用多次后,表面状况劣化影响制程效能与良率,为降低采购新品的成本支出,对精密洗洁与表面处理再生服务的需求因而增加。

半导体、面板与太阳能产业业者于生产运作时,如Etching、CVD、Diffusion的制程组件(Process Kit)上会附着Metal、Poly或Oxide等各种不同镀层,经过一段时间后会有剥落(Peeling)现象,进而形成Particle而影响产品良率与质量,因此必须定期施行设备零组件清洗。而专业清洗与再生处理厂商则根据制程、机台设备厂牌、零组件材质与镀层进行分类并提供精密清洗与再生处理服务,以配合客户提升产品良率及提高制造设备的稼动率(引述世禾官网与年报资料)。

精密洗净:去除附着在设备、零件与夹具的金属与氧化物。依客户需求将制程设备零组件上所附着的镀层以化学(酸洗)或物理(喷砂)等方式去除,以还原零组件原有的表面特性。

再生处理:解决机台零组件于CVD与Etching等制程中,零件受到腐蚀或particle附着的问题。零组件于洗净后会以熔射或喷砂等加工方式增加处理工件表面粗度,以延长使用寿命。

基本上而言,设备机台稼动率越高,相关零组件精密清洗与再生处理的需求也随之增加。而2004年以来台湾面板产业大量装机,相关设备零组件的精密清洗与表面处理需求陆续开出,并吸引多家厂商加入争夺相关业务。此外,太阳光电产业使用PVD机台进行薄膜制程,相关洗净需求亦将逐步增加,特别是薄膜太阳光电模块产业。

因为半导体与光电产业的制程设备种类繁多,精密洗净与表面再生服务厂商必须对众多设备供货商、针对多种材质(铝、不锈钢、陶瓷)与不同尺寸且形状各异的零组件,提供精密洗净与表面处理服务,也因此争取大客户订单有赖于建立经济规模与经营客户关系。

文章来源:齐鲁壹点

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